多軸キネマティックアライメントステージ

多軸キネマティックアライメントステージは、人気の高いキネマティックステージの各軸をモータ駆動できる、より多用途な製品です。各ステージにPicomotor™アクチュエータを追加することにより、X、Y、Z、θx、およびθyのさまざまな組み合わせを、高精度 (<30nm) でリモート調整できます。4軸および5軸アライナはモジュレータやアイソレータのポジショニングと、導波路デバイスへの光カップリングに、6軸アライナは半導体ウェハのアライメントに最適です。