東京本社
03-5285-0853
大阪支店  06-6323-7286
名古屋支店 052-205-9711
Newport Japan ニューポート > 製品情報 > Motion > 回転&傾斜ステージ > 電動回転ステージ(自動回転ステージ) > ZVRシリーズ ウェーハ位置決め用垂直および回転統合ステージ

ZVRシリーズ ウェーハ位置決め用垂直および回転統合ステージ

- 10mmの精密垂直移動と360度の連続角度移動を実現する超薄型デザイン
- 低質量と高い固有振動数により、すばやいステップ・アンド・セトル・アプリケーションに対応
- ステージの中心を通る大口径開口部により、チャックへ向かう真空および電気ケーブルの管理が容易
- ステージとチャックのすべての電気および真空コネクションを一カ所で高度に管理
- 3点取付により、XYステージや他のプラットフォームへの安定した取付けが可能

Newport社のZVR-PPおよびZVR-PCは、Z垂直とθ回転の位置決めステージで、直径が200 mmおよび/または300 mmのウェハチャックの精密 な上昇と回転が可能な設計となっています。ZVRステージは、3点 (120度間隔) で積載物をしっかり支持してステージの外周に沿って駆動します。 Newportの3点デザインは、積載が若干ないし極端に不均衡になってチャックの外縁に沿って鉛直力がかかるおそれのある、ウェハプロービングなどのアプリケーションにとって有利です。このような中心から外れた負荷に起因する角度偏差は最小限に抑えられるため、垂直移動中に拘束が起こることはありません。また、ZVRステージは、ステージの中心の開口部が底面プレートまで続く独自設計となっています。この垂直軌道に沿ったステージの誘導は、極めて静音性に優れた3つの小型再循環ベアリングガイドによって行われます。また、ZVRは、ステージを絶対基準位置 (ホームポジション) に戻すことができるハードウェア原点と、ユーザが垂直移動の上限を設定できるリミットスイッチも備えています。

製品番号

※各製品番号をクリックすると、Newport米国サイトが開きます。図面や技術情報をご覧になれます。
※記載の標準納期は目安です。詳細はお問合せください。
製品番号
備考
標準納期
税抜価格
Wafer Positioning Stage, Integrated Vertical and DC Rotation Stage
お問合せ
3,962,000円
Wafer Positioning Stage, Integrated Vertical and Stepper Rotation Stage
お問合せ
4,106,000円

この製品を見た方はこんな製品も見ています

  • Twitter
  • YouTube