真空対応電動ポジショナー

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Newport社では、10-6 hPa (7.5*10-7 Torr) の真空および1.3*10-8 hPa (10-9 Torr) の超高真空の環境で使用するための幅広い標準品を取り揃えています。真空対応のステージ、アクチュエータ、および光学マウントには特殊な表面処理が施されており、精選された素材や部品、および真空対応の潤滑剤とグリースが使用されています。多くの真空対応製品は、半導体資本設備メーカと真空業界向けに特別に設計されています。
また、Newport社は、クリーンルーム、極端な高温または低温、非磁性高エネルギー、およびEUVなどの特殊環境のための前処理が必要なアプリケーションに適したソリューションを提供しています。
モーション製品およびシステムの特殊環境前処理に関する詳細は、㈱日本レーザーまでお問い合わせください。