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MLTシリーズ 薄型・高精度リニアモーターステージ
コンパクトで薄型、高精度のリニアステージのMLTシリーズは、XMファミリとコンパクトなVPファミリのリニアステージの超精密性能を橋渡しします。 これらのステージは、さまざまな産業用アプリケーションの精密ステージ設計におけるMKSの最新の技術革新と専門知識を示し、MKSモーションコントローラーと併用した場合にモーション製品に期待される短いセットアップを維持します。
MLTステージは、計測、センサーのテストとキャリブレーション、位置合わせ、ピックアンドプレースアセンブリなど、半導体、産業、または研究市場での一般的なスキャンまたはポイントツーポイントアプリケーションに最適です。
【主特徴】
コンパクト、薄型、再現性の高い設計
剛性の高い、FEMに最適化されたアルミニウムボディが熱曲げ効果を防ぎます
精密交差ローラーベアリングスライドは、正確な線形運動を提供します
プラグアンドプレイ-ESP互換
多軸構成の構築が簡単 【耐荷重の高いステージでは無いので、多軸構成に際しては別途お問下さい。】
■主仕様
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|---|---|---|---|---|---|
| Travel Range | 25 mm | 50 mm | 100 mm | 200 mm | 250 mm |
| Maximum Speed | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s |
| Minimum Incremental Motion | 5 nm | 5 nm | 5 nm | 5 nm | 5 nm |
| Maximum Acceleration | 0.75 g | 0.75 g | 0.75 g | 0.5 g | 0.5 g |
| Maximum Continuous Force | 3 N | 3 N | 3 N | 3 N | 3 N |
| Centered Load Capacity | 50 N | 70 N | 70 N | 70 N | 70 N |
| Accuracy, Guaranteed | ±0.3 µm | ±0.6 µm | ±1.25 µm | ±2.5 µm | ±3 µm |
| Bi-directional Repeatability, Guaranteed | ±0.15 µm | ±0.15 µm | ±0.15 µm | ±0.15 µm | ±0.15 µm |
| Flatness, Guaranteed | ±1 µm | ±2 µm | ±3 µm | ±5 µm | ±10 µm |
| Straightness, Guaranteed | ±1 µm | ±2 µm | ±3 µm | ±5 µm | ±5 µm |
| Pitch, Guaranteed | ±50 µrad | ±75 µrad | ±75 µrad | ±150 µrad | ±200 µrad |
| Yaw, Guaranteed | ±50 µrad | ±75 µrad | ±75 µrad | ±125 µrad | ±150 µrad |
| Drive Type | Linear Motor | Linear Motor | Linear Motor | Linear Motor | Linear Motor |
| Thread Type | M4 | M4 | M4 | M4 | M4 |
| Weight | 1.5 kg | 1.7 kg | 2.1 kg | 3.1 kg | 3.6 kg |
| MTBF | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) |
| Compliance | RoHS 3, CE | RoHS 3, CE | RoHS 3, CE | RoHS 3, CE | RoHS 3, CE |
信頼性の高い設計： 高強度アルミニウム合金で構築された各MLTステージのベースは、最高の剛性と最高の熱性能を実現するために有限要素法（FEM）で最適化されています。 性能だけでなく信頼性も考慮して、長寿命で高負荷のクロスローラーベアリング、高力リニアモーター、高精度リニアエンコーダなどの厳選されたコンポーネントが追加されています。 内蔵のリミットスイッチは、オーバートラベルと衝突を防ぎます。 MLTの高い信頼性性能を保証するために、重要なテストが実施されました。
低い所有コスト： MLTシリーズのコンパクトで薄型、高速のステージは、使用するスペースが少なく、より高い加速と速度で動作し、運用コストを削減します。 また、信頼性の高い設計により、初期投資が少なくて済み、メンテナンスも少なくて済みます。
XYおよびXYZ構成： MLTは、使用可能な取り付け穴を利用してXYおよびXYZスタックに組み込むことができます。 X段とY段の間に磁気シールドMLT-XYPLATEが必要です。 必要に応じてケーブルチェーンを供給することもできます。 組み立て済みのXYZスタックは、短い移動範囲で利用できます。 Zステージは、優れた位置決め性能を維持しながら、さまざまな垂直荷重に対応する磁気カウンターウェイトを備えています。
プラグアンドプレイESP互換： MLTは、プラグアンドプレイESPテクノロジをサポートするXPSシリーズの標準MKSコントローラと互換性があるため、複雑なドライバ設定を必要とせずに起動が非常に簡単になります。 （XY構成の場合、手動のパラメーター設定が必要であることに注意してください。）
製品番号
※記載の標準納期は目安です。詳細はお問合せください。
