電動直進ステージ
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- 静粛性に非常に優れたアンチクリープ・クロスローラベアリングが、リップルフリー動作とケージ移動が起こらない卓越した軌道精度を保証
- 50 nm分解能を持つリニアエンコーダを内蔵することで高い感度と高度の再現性を持つ正確な動作が可能
- 極低摩擦ボールスクリューが駆動することで、スティック-スリップ効果の抑制と100 nm刻みでの動作が可能
- 剛性が大きく、FEMで最適化された成形アルミニウム製のボディは熱による曲がりを防止
- 予荷重をかけたバックラッシュのないボールスクリュー・ドライブにより、短いステップ時間および整定時間でのすばやい移動が可能
- 精密再循環ボールベアリングスライドがボールケージの移動をともなわない正確なリニアモーションを実現
- 剛性の大きいボディデザインにより、移動距離が最大600 mm × 600 mmの曲がりのないXYアッセンブリが可能
- 非接触直接駆動システムにより、小さなフットプリントで高いダイナミクスと信頼性を実現
- 熱の発生を最小限に抑え、高速かつ再現性の高い点指定による位置決めを可能にする効率的なアイロンコアのリニアモータ
- ケージ付きボールを使用した循環ベアリングが超静音のモーションを保証し、保守の回数を削減
- mmレベル以下の再現性の正確な位置きめを可能にする高分解能リニアエンコーダによるフィードバック
- 剛性が大きく、FEMで最適化された成形アルミニウム製のボディは熱による曲がりを防止
- 予荷重をかけたバックラッシュのないボールスクリュードライブにより、短いステップ時間および整定時間でのすばやい移動が可能
- 精密循環ボールベアリングスライドがボールケージの移動をともなわない正確なリニアモーションを実現
- 低価格かつコンパクトで25 mmの移動量を実現
- 耐荷重と剛性に優れたステンレス製
- 2本の直線状精密研磨ボールベアリングにより、非常になめらかで高精度の直進移動を実現
- 高分解能のエンコーダフィードバックにより、100 nmの感度で非常になめらかな位置決めが可能
- 10-6 hPaまでの真空対応モデルあり
- オールスチール製で剛性と熱安定性が高く、薄型設計
- 精密研磨したリードスクリューにより最大200Nの軸荷重が可能
- 分解能0.1 mmのギア回転による高い位置安定性
- 真空仕様モデルは最大10-6 hPA
- 150 mmまでの移動量に対応する超薄型コンパクト設計
- 剛性と熱安定性に優れたオールスチール製
- DCモータに20,000カウント/回転の回転エンコーダを取り付けたモデルは分解能0.1 mmの厳密な位置コントロールに対応
- 感度と経済性に優れたステッピングモータモデルもラインナップ
- 10-6 hPaまでの真空仕様
- ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム
- 精密ガラススケールエンコーダが80 nmの再現性で正確な位置をフィードバック
- 熱の発生を最小限に抑える超大型で高効率のリニアモータ
- 超静音のアンチクリープ式クロスローラベアリングにより、ケージの移動を必要とせずにリップルなしのモーションを実現
- 小さなボディーで25 mmの精密移動
- 最小移動量10 nmを実現
- バックラッシュを防ぎ、再現性の高い正確なモーションを可能にするリニアエンコーダを搭載
- 斬新なデザインの固定読み取りヘッドがケーブルの移動を回避
- 摩擦の少ないボールスクリュードライブによりMTBF20,000時間
- 分解能:<30nm
- モジュレータやアイソレータを簡単にアライメント
- 6軸アライナ:半導体ウェハのアライメントに最適
- Picomotor™アクチュエータの組込みが簡単
- リニアオプティカルエンコーダ内蔵:分解能80 nm
- ステンレススチールクロスローラベアリング直進ステージと互換
- セット位置を確実に保持できる高い安定性
- モータ駆動&手動
- ドライバキットで簡単にシステム構築
- セット位置を確実に保持できる高い安定性
- モータ駆動&手動
- ドライバキットで簡単にシステム構築
- クロスローラベアリング:スムーズで高精度なポジショニング
- セット位置を確実に保持できる高い安定性
- ドライバキットで簡単にシステム構築
- アルミ製ボールベアリング:標準サイズ&ピントサイズ
- 高い安定性&高い直交性
- ドライバキットで簡単にシステム構築
XYファイバポジショナのモータ駆動タイプで、分解能が1.0 mmから<0.1 mmまで改善されています。モデル9092カプラ本体とクランプに取付けて、高性能なマルチモードファイバポジショナとしてご利用ください。
- 手を触れずに行える便利なリモート調整が可能
- 移動量12 mmと27 mm、最小移動量50 nm
- 超コンパクト−スペースのないセットアップやシステムへの組み込みに最適
- 一度設定すれば変わらない長期安定性
- 手動コントロール、またはUSBインタフェースコントロール可能
- 手頃な価格の統合型DCモータコントローラと直進ステージ
- 移動量25 mm、感度100 nm
- フルスチール製で精密加工されたダブルローリニアボールベアリング
- 超コンパクトなコントローラ−サイズはわずか93 × 53 × 23 mm
- 高度なバックラッシュとヒステリシス補正モード
- 迅速なUSB通信
- 手頃な価格で、クローズドループ制御による優れた位置決め性能を確保
- Agilisピエゾ駆動製品用の統合型単軸制御
- 超コンパクトなコントローラとステージ、狭いスペースに最適
- 優れた再現性とミクロン未満のモーションを実現
- 迅速なUSB通信
- ナノメートル未満の圧電位置決め分解能
- X、XY、XYZのモーション
- 圧電方式の採用によって最大400 mmの移動量を実現
- 正確な線形変位を測るための精密な平行四角形
- 非常に動的なアプリケーションに最適な高い共振周波数