ビーム安定化
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ファーストステアリングミラー
- 単一の旋回点によるX軸回転とY軸回転
- フレックスサスペンションで摩擦を排除
- 光学角度範囲は±3°
- 光学的角分解能2 mrad rms
- 高速クローズドループ制御、800 Hz以上
- 現場で交換可能なミラーアセンブリ
- ピエゾ駆動ミラーよりも大きな角度範囲
- デュアルXYガルバノミラーシステムで発生する変位ジッタを排除
- フレックスサスペンションで摩擦を排除
- 光学角度範囲は±3°
- 光学的角分解能2 mrad rms
- 高速クローズドループ制御、800 Hz以上
- 現場で交換可能なミラーアセンブリ
- ピエゾ駆動ミラーよりも大きな角度範囲
- デュアルXYガルバノミラーシステムで発生する変位ジッタを排除
