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XMS-Vシリーズ 超精密リニアモータ垂直ステージ
- 卓越した精度、再現性、最小移動量を実現する超高性能垂直ステージ
- 空気圧平衡による非接触直接駆動システムにより、高い動力性能と信頼性を備えた超高精密モーションを実現
- アイロンレス高効率の大型リニアモータにより発熱を最小化
- 超静音の耐クリープ特性を持つクロスローラベアリングが、ケージの移動のないリップルなしのモーションを保証
製品番号
※各製品番号をクリックすると、Newport米国サイトが開きます。図面や技術情報をご覧になれます。
※記載の標準納期は目安です。詳細はお問合せください。
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