- ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム
- 精密ガラススケールエンコーダが80 nmの再現性で正確な位置をフィードバック
- 熱の発生を最小限に抑える超大型で高効率のリニアモータ
- 超静音のアンチクリープ式クロスローラベアリングにより、ケージの移動を必要とせずにリップルなしのモーションを実現