- コンパクトなユニットで30 mmの精密垂直移動を実現
- 任意の側面から障害物に妨げられることなく搭載物へアクセス可能
- ダイレクト垂直アンチクリープ・クロスローラベアリングが、リップルフリー動作とケージ移動を起こさない卓越した軌道精度を保証
- 50 nm分解能を持つリニアエンコーダを内蔵することにより高い感度を実現し、高度な再現性と精密動作を可能にしました