- 静粛性に非常に優れたアンチクリープ・クロスローラベアリングが、リップルフリー動作とケージ移動が起こらない卓越した軌道精度を保証
- 50 nm分解能を持つリニアエンコーダを内蔵することで高い感度と高度の再現性を持つ正確な動作が可能
- 極低摩擦ボールスクリューが駆動することで、スティック-スリップ効果の抑制と100 nm刻みでの動作が可能