電動キネマティックステージ
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- 分解能：＜30nm
- モジュレータやアイソレータを簡単にアライメント
- 6軸アライナ：半導体ウェハのアライメントに最適
- モジュレータやアイソレータを簡単にアライメント
- 6軸アライナ：半導体ウェハのアライメントに最適
| 8071 | #8071 4-AXIS ALIGNER,MOTORIZED | 399,000円 |  |
|---|---|---|---|
| 8071-M | #8071M 4-AXIS ALIGNER,MOTOR.,MET | 399,000円 | |
| 8081 | #8081 5-AXIS ALIGNER, MOTORIZED | 451,000円 | |
| 8081-M | #8081M 5-AXIS ALIGNER,MOT.,MET | 451,000円 | |
| 8082 | #8082 WIDE 5-AXIS ALIGNER, MOT. | 451,000円 | |
| 8082-M | #8082M WIDE 5-AXIS ALIGN.,MOT.,MET | 451,000円 | |
| 8095 | #8095 6-AXIS POSITIONER,MOTORIZED | 509,000円 | |
| 8095-M | #8095M 6-AXIS POSITIONER,MOT.,MET | 509,000円 | |
