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Custom Component Solutions

Newport社標準製品のカスタムバージョンについて

Newport社の Componentsグループでは、産業向け光学マウント・光学部品・手動ポジショニング装置のカスタムバージョンを25年間にわたり提供してきました。Newport社ではカスタム製品の製造にあたって、まず適切な標準品を選び、それをユーザー指定の仕様に適用させます。ご要求に応じた材質・プロセスでの製造を承ります。

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光学マウント&手動ポジショナ

Newport社の光学マウント及び手動ステージはアプリケーションに合わせてカスタマイズ可能です。以下のようなカスタマイズ例がございます。

  • 非標準サイズの光学部品に合わせたカスタム光学マウント
  • より高い/より低い張力のバネに変更
  • よりロングトラベルの手動ステージ
  • ユーザー指定の設置スペースやマウント方法に合わせて機械特性を変更

真空&DUV対応

標準の光学マウント及び手動ステージが対応していないような厳しい環境下での使用や技術的要件がある場合でも、Newport社では現在最も過酷な環境にも対応できる製品プロセスを開発し、実績を積んでまいりました。1997年、Newport社は標準モデルとして真空環境 (10-6 torr) 対応した製品を発売しました。2001年には半導体関連装置分野向けに、UV, DUVの厳しい要求に応える素材、プロセス、インフラを開発。これら知識と経験の積み重ねにより、お客様のニーズに多彩な選択肢でお応えします。Newport社の光学マウント及び手動ステージは、以下のような特殊環境への対応が可能です。

  • 真空対応
  • 超高真空対応(UHV)
  • 高エネルギー 赤外/EUV付近光発生
  • 深紫外(DUV)
  • 極端紫外(EUV)

真空(10-6 Torr 及び 10-9 Torr)

10-6 Torr 対応に改良した
Model U100-G2K ミラーマウント
10-9 Torr 対応に改良した
Model M-36 傾き/回転プラットフォーム
10-9 Torr 対応に改良した
Model M-DS25-X
小型ダブテイル・リニアステージ

高エネルギー赤外 / EUV付近&DUV (193-399 nm)

高エネルギー赤外 / EUV付近光発生アプリケーション用
Stabilityシリーズ ミラーマウント
深紫外アプリケーション用に改良した
Model HVM-1i 上部駆動光学マウント

標準オプティクスのカスタマイズ

Newport社はその豊かな光学知識、多彩な製品群、グローバルな製造・サプライチェーンにより、お客様のニーズに合わせた製品を提供いたします。サイズ、形状、素材、光学特性を、ニーズに合わせて変更・設計いたします。OEMでは試作品やテスト製造も承ります。この試作品が適合すれば、必要に応じた量産(1000パーツ以上)体制を整備いたします。Newport社では以下のような要求に対応したオプティクスを提供できます。

  • 波長 400-2000 nm
  • 種々の基板形状: フラット、球面、非球面、シリンドリカル、直角プリズム等
  • レンズ径 5-152 mm
  • 表面品質 λ/20
  • スクラッチディグ 10/5
  • 表面平坦度 約 2Å RMS

オプティクス素材

  • UV Fused Silica
  • BK7
  • BOROFLOAT
  • セレン化亜鉛
  • ZERODUR
  • ゲルマニウム
  • シリコン
  • 硫化亜鉛
  • 種々のフィルタガラス

薄膜コーティング

Newport社は40年以上に及ぶカスタムの薄膜技術により、リフレクタから広帯域ARコーティングまで幅広いカスタムコーティングタイプを取り揃えています。

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